[发明专利]离子源和离子注入装置无效
| 申请号： | 201210053136.X | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN102832094A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 山下贵敏 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供离子源和离子注入装置，与以往的离子源相比，灯丝(阴极)的断线少、能稳定生成大型及大电流的离子束。离子源(8)包括：具有狭缝状开口部(11)及向内部突出的前端部配置在不与等离子体(3)接触的位置的至少一个阴极(2)的多个等离子体生成容器(U11～U42)；沿狭缝状开口部(11)的长边方向在各等离子体生成容器(U11～U42)中产生磁场的磁场生成机构(12)；通过狭缝状开口部(11)引出截面形状为大体长方形的带状离子束(19)的引出电极(6)。在从大体长方形截面的短边方向看时，从各等离子体生成容器(U11～U42)引出的带状离子束(19)在大体长方形截面的长边方向上的一方的端部相互重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
一种离子源，其特征在于包括：多个等离子体生成容器；阴极，在各个等离子体生成容器内至少设置有一个，向等离子体生成容器内突出的前端部配置在不与等离子体接触的位置；气体流量调节器，与各个等离子体生成容器连接，分别调节导入各个等离子体生成容器内的可电离气体的流量；狭缝状开口部，形成在各个等离子体生成容器上；引出电极，从所述狭缝状开口部引出带状离子束，该带状离子束在与引出方向垂直的平面内具有大体长方形的截面；以及磁场生成机构，沿着所述狭缝状开口部的长边方向在各个等离子体生成容器内产生磁场，其中，在从所述截面的短边方向观察从各个等离子体生成容器引出的所述带状离子束时，所述截面的长边方向的至少一方的端部相互重叠。
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