[发明专利]一种开放式表面等离子激元狭缝光波导

摘要

本发明公开了一种具备较低传输损耗的开放式表面等离子激元狭缝光波导结构，该波导结构的横截面包括介质基底层(1)、位于介质基底层上的漏斗状金属狭缝结构(2、3、4、5)以及包层。漏斗状金属狭缝的底部可将大部分传输光场限制在(4)中，同时上方倒梯形开口(5)的存在使其能保持较低的传输损耗。该波导结构进一步降低了传统表面等离子激元狭缝光波导的传输损耗，并保持了较强的模场束缚能力，可用于构建各类集成光波导和器件。

主权项

一种开放式表面等离子激元狭缝光波导，其横截面包括基底层、位于基底层上的从下往上依次排列的两个介质区域，位于基底层上的介质区域两侧的两个金属区域以及包层；两个介质区域之间紧密相接，其中与基底层相接的介质区域的截面的形状为矩形，与包层相接的介质区域的截面的形状为倒梯形；与基底层相接的介质区域的高度为所传输的光信号的波长的0.02‑0.2倍，其宽度所传输的光信号的波长的0.02‑0.2倍；与包层相接的介质区域的高度为所传输的光信号的波长的0.3‑5倍，其下表面的宽度小于其上表面的宽度，且其下表面的宽度和与基底层相接的介质区域的宽度相等，与包层相接的介质区域的上表面的宽度为所传输的光信号的波长的0.03‑100倍；除基底层、介质区域及包层以外的区域由两个金属区域填充；基底层、位于基底层上的两个介质区域以及包层的材料为相同材料或不同材料，介质区域左、右两侧的两个金属区域的材料为相同材料或不同材料。