[发明专利]防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源有效
| 申请号： | 201210057513.7 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN102867717A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 井内裕;土肥正二郎;谷井正博 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源，能提高将防着板向等离子体生成容器安装及将防着板从等离子体生成容器拆下时的工作效率。防着板支承部件(15)配置在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器(4)内，具有至少一部分与等离子体生成容器(4)的内壁抵接的主体部(16)及从主体部(16)延伸设置的端部(17)，在将防着板支承部件(15)组装在等离子体生成容器(4)上时，端部(17)从等离子体生成容器(4)的内壁离开。 | ||
| 搜索关键词： | 防着 支承 部件 具有 离子源 | ||
【主权项】：
一种防着板支承部件，配置在等离子体生成容器内，所述等离子体生成容器在等离子体处理装置及离子束照射装置中使用，所述防着板支承部件的特征在于，具有：主体部，至少一部分与所述等离子体生成容器的内壁抵接；以及端部，从所述主体部延伸设置，并且在将所述防着板支承部件组装在所述等离子体生成容器上时，所述端部从所述等离子体生成容器的内壁离开。
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