[发明专利]电介质层的预灾变、应力诱导漏电流情况的检测有效
| 申请号： | 201210057551.2 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN102680873A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 马丁·克贝尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 德国瑙伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及电介质层的预灾变、应力诱导漏电流情况的检测。本发明公开的技术对电介质层施加应力直到检测到预灾变、应力诱导漏电流(SILC)情况。当检测到预灾变SILC情况时，应力被移除以防止电介质及其关联器件的灾变性故障。因为这些技术防止电介质层的灾变性故障，所以工程师可以进行器件的物理故障分析，现在由于预灾变SILC情况的检测而使器件已知具有某种类型的缺陷。这样，本发明公开的技术允许工程师更快地确定缺陷的根本原因，使得生产率可以保持在最佳水平。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质 灾变 应力 诱导 漏电 情况 检测 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：将偏压施加到被测器件以从所述被测器件生成应力诱导漏电流SILC；分析所述SILC以识别预灾变SILC情况，预计在所述预灾变SILC情况之后所述被测器件的电介质灾变性地故障；在所述预灾变SILC情况已被识别之后移除所述偏压以防止所述电介质的灾变性故障。
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