[发明专利]一种并行共焦检测系统及方法无效
| 申请号： | 201210057590.2 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN102589471A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张运波;杨召雷;句爱松;彭博方;董洪波;胡凯;侯文玫 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种并行共焦检测系统及方法，所述系统包括单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC。单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字微镜调制后形成针孔阵列，再通过透镜变为平行光束聚焦的被测物表面，被测物反射的光入射到光强阵列探测器上，通过PC记录光强度，通过数字微镜器件实现对样品的横向或轴向扫描。通过PC控制加到电控可变焦透镜上的电压，使可变焦透镜的焦距改变一个微小的值Δf，此时再记录探测器上的光强数值；根据扫描后得到的光强值，得到被测物对应点的轴向的位置；对整个被测物表面轮廓的测量。本发明可提高系统的稳定性及扫描速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 并行 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种并行共焦检测系统，其特征在于，所述系统包括：单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC；单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字微镜调制后形成针孔阵列，再通过透镜变为平行光束，通过无偏振分光棱镜、电控可变焦透镜、聚焦的被测物表面，被测物反射的光经电控可变焦透镜、分光棱镜、透镜探测针孔，入射到光强阵列探测器上，通过PC记录光强度，通过数字微镜器件实现对样品的横向或轴向扫描；然后通过PC控制加到电控可变焦透镜上的电压，从而使可变焦透镜的焦距改变一个微小的值Δf，此时再记录探测器上的光强数值；根据扫描后得到的光强值，得到被测物对应点的轴向的位置；实现整个被测物表面的轴向扫描，从而可以对整个被测物表面轮廓的测量。
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