[发明专利]谐振‑力平衡隧道电流式三轴加速度传感器及制作方法有效
| 申请号： | 201210059383.0 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102608355B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 韩建强 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振‑力平衡隧道电流式三轴加速度传感器的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于三轴加速度传感器由中间硅片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成，中间硅片(1)上制作有双端固支梁谐振器(4)、质量块(6)和支撑梁(5)。本传感器在检测原理方面的特征在于芯片平面内X轴和Y轴加速度信号采用双端固支梁谐振器(4)检测，双端固支梁谐振器(4)谐振频率的变化反映加速度的大小和方向；Z轴加速度信号检测部分由隧道针尖(9)、控制电极(10)和偏压电极(7)组成，采用隧道电流式敏感原理检测，工作于闭环力平衡工作模式。质量块(6)在芯片法向运动位移很小，Z轴加速度信号对X轴和Y轴加速度检测引入交叉干扰极小。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 平衡 隧道 电流 式三轴 加速度 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种谐振‑力平衡隧道电流式三轴加速度传感器，其特征在于：所述的三轴加速度传感器由中间硅片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成；中间硅片(1)由四个双端固支梁谐振器(4)、八个支撑梁(5)、质量块(6)、偏压电极(7)和框架(8)组成；采用单一质量块(6)敏感三个轴向加速度信号；双端固支梁谐振器(4)位于中间硅片(1)的上表面，双端固支梁谐振器(4)一端固支在框架(8)上表面，另一端固支在质量块(6)的四条边上；支撑梁(5)的中性面与质量块(6)的重心在同一水平面内；Z轴加速度检测部分由隧道针尖(9)、控制电极(10)和偏压电极(7)组成；隧道针尖(9)和控制电极(10)制作在上盖板(2)上，偏压电极(7)制作在中间硅片(1)上；或者将隧道针尖(9)和控制电极(10)制作在中间硅片(1)上，偏压电极(7)制作在上盖板(2)上。
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