[发明专利]真空压差式微加工装置及方法

摘要

本发明为一种真空压差式微加工装置及方法，包含一真空腔、至少一第一、第二压力控制泵、加工移动平台及至少一微加工机构，其中，该真空腔连结第一压力控制泵，以将该真空腔内压力控制于-100托(TORR，mmHg)以下，形成第一压力，该加工移动平台设于该真空腔内，供至少一工件安置及进行该工件至少一轴向方向的移动，该微加工机构设于该真空腔内，该第二压力控制泵连结该微加工机构，以形成第二压力，该第二压力值大于该真空腔的第一压力值，以令该微加工机构内部的微粉粒磨料借第一、第二压力值差，而以高速喷出射向加工移动平台上的工件进行撞击冲蚀微加工。

主权项

一种真空压差式微加工装置，其特征在于，包括：一真空腔，其为一可密封成真空负压环境的腔体；至少一第一压力控制泵，具有至少一进气口及排气口，该进气口穿入该真空腔内部，以将该真空腔内部的空气快速与大量抽出，并经由该排气口排也，使该真空腔内部形成‑100托以下的负压的第一压力值；至少一第二压力控制泵，设于该真空腔的外部，该第二压力控制泵具有压力控制功能，且具有一输出口，供调节压力的微量进气空气，该输出口结合一进气控制阀，该进气控制阀设于该真空腔外部，可控制该输出口输出的微量进气空气压力与流量，该进气控制阀并以一进气管路穿入该真空腔中；至少一加工移动平台，设于真空腔内部，该加工移动平台供一工件安置，并可带动该工件作至少一轴向方向的位移移动；至少一微加工机构，设于该真空腔内部，内部容置有数个微粉粒磨料，且该微加工机构连结该第二压力控制泵的进气管路，使该微加工机构内部借由该第二压力控制泵控制微量进气空气压力与流量而形成第二压力，该微加工机构内所形成的第二压力值大于第一压力控制泵于真空腔中所形成的第一压力值，而借由该第一压力值与第二压力值间的压力差，使该微加工机构内的微粉粒磨料高速喷出于微加工机构之外，而令该高速喷出的微粉粒磨料撞击冲蚀该加工移动平台上的工件，以对该工件进行微加工。