[发明专利]基于双通道光栅的微小线性位移传感器有效
| 申请号： | 201210061070.9 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102589447A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 方平 | 申请（专利权）人： | 方平 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 翁霁明 |
| 地址： | 311700 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于双通道光栅的微小线性位移传感器：它主要包括：一可发生线状激光并被一发射聚焦透镜会聚、由一被测物体反射的线状激光器，一接收所述线状激光并会聚的接收聚焦透镜，在所述接收聚焦透镜之后，设置有供线状激光分别照射并透过双通道光栅的一通道光栅和二通道光栅两个区域，对应于所述一通道光栅和二通道光栅两个区域，分别设置有接收线状激光的一通道光电探测器和二通道光电探测器，所述一通道光电探测器和二通道光电探测器的输出端口分别与实时信号处理电路的输入端口相连；它具有结构简单，线性度好，灵敏度高，测量频率高，分辨率高和实时性好等特点，可应用于高频永磁力马达等元件的微小线性位移的静动态特性的在线或离线检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 双通道 光栅 微小 线性 位移 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于双通道光栅的微小线性位移传感器，其特征在于它主要包括：一可发生线状激光并被一发射聚焦透镜(2)会聚、由一被测物体(1)反射的线状激光器(3)，一接收所述线状激光并会聚的接收聚焦透镜(4)，在所述接收聚焦透镜(4)之后，设置有供线状激光分别照射并透过双通道光栅(5)的一通道光栅和二通道光栅两个区域，对应于所述一通道光栅和二通道光栅两个区域，分别设置有接收线状激光的一通道光电探测器(6)和二通道光电探测器(7)，所述一通道光电探测器(6)和二通道光电探测器(7)的输出端口分别与实时信号处理电路(8)的输入端口相连。
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