[发明专利]内置菲涅耳透镜的图像传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种内置菲涅耳透镜的图像传感器及其制造方法，所述图像传感器包括多个菲涅耳透镜以及多个感光元件，所述菲涅耳透镜和感光元件一一对应设置。本发明将菲涅耳透镜集成到图像传感器中，所述菲涅耳透镜和感光元件一一对应设置，利用菲涅耳透镜替代了传统的微透镜，制造工艺简单，且能够提高图像传感器的填充系数。

主权项

一种内置菲涅耳透镜的图像传感器，其特征在于，包括多个菲涅耳透镜以及多个感光元件，所述菲涅耳透镜和感光元件一一对应设置；所述多个菲涅耳透镜的形成步骤包括：在衬底上形成第一材料层；刻蚀所述第一材料层形成多个凹槽，所述凹槽为矩形凹槽，所述凹槽贯穿所述第一材料层以暴露所述衬底的表面；在所述衬底和凹槽中沉积第二材料层；以及进行化学机械研磨工艺以去除衬底上的第二材料层，仅保留凹槽内的第二材料层，形成菲涅耳透镜；其中，所述菲涅耳透镜的光栅尺寸取决于第一材料层和第二材料层的折射率以及入射光线的波长。