[发明专利]一种基于非平衡迈克尔逊光纤干涉仪的非接触微振动测量系统

摘要

一种基于非平衡迈克尔逊光纤干涉仪的非接触微振动测量系统，属于光纤传感技术领域。其特征是该系统依次通过窄带光源、耦合器、非平衡迈克尔逊光纤干涉仪，其中一路经光纤自聚焦透镜垂直照射到物体表面后返回耦合进光纤，另一路经参考臂光纤末端的反射装置返回，两路光再通过耦合器、光电探测器(PD)、数据处理模块，同时数据处理模块生成载波控制干涉臂上的相位调制器，最终利用基于反正切(ARCTAN)计算的相位生成载波(PGC)相位解调技术得出结果。本发明的效果和益处是采用迈克尔逊光纤干涉仪与基于反正切计算的相位生成载波相位解调技术的结合，具有高灵敏度、良好的响应以及不受光强及可见度漂移因素的影响，能实现非接触微振动的在线测量。

主权项

一种基于非平衡迈克尔逊光纤干涉仪的非接触微振动测量系统，其特征是依次通过窄带光源、耦合器、非平衡迈克尔逊光纤干涉仪两臂，其中一路经光纤自聚焦透镜垂直照射到振动物体表面后返回到自聚焦透镜并耦合进光纤，另一路经光纤末端的反射装置返回，两路光再通过耦合器并发生干涉，干涉信号由光电探测器(PD)转换为电信号并输出，最后通过数据处理模块，同时数据处理模块生成载波信号控制相位调制器，对参考臂光纤进行相位调制，最终利用基于反正切(ARCTAN)计算的相位生成载波(PGC)相位解调技术，由数据处理模块进行信号处理，得出解调结果。