[发明专利]一种角分辨散射测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 201210062966.9 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN103307997A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王帆;张青云;陆海亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种角分辨散射测量装置及其测量方法，该装置包括：照明光学组件、成像光学组件、投影物镜及探测器，其特征在于照明光学组件包括光强优化器件，通过调节所述光强优化器件使所述探测器的探测面上反射光强趋于均匀分布。本发明还提出一种利用角分辨散射测量装置的测量方法，透过本发明可以提高测量标记反射光信号的信噪比，从而提高入射光强反射率的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分辨 散射 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种角分辨散射测量装置，包括：照明光学组件，用于引导一入射光在投影物镜的瞳面形成所需的照明模式；投影物镜，用于将入射光聚焦到测量标记上，并收集被测量标记反射的光；成像光学组件，用于将所述投影物镜瞳面的反射光强分布成像到探测器面上；以及探测器，用于探测所述反射光信号；其特征在于，所述照明光学组件还包括一光强优化器件，通过调节所述光强优化器件使所述探测器的探测面上反射光强趋于均匀分布。
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