[发明专利]7．6微米前截止红外滤光片及其制作方法无效
| 申请号： | 201210064100.1 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102540313A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吕晶 | 申请（专利权）人： | 杭州麦乐克电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B1/10;B32B9/04;B32B15/00;C23C14/54;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种7.6微米前截止红外滤光片及其制作方法，其特征是：采用尺寸为Φ25.4×1.0mm的单晶锗Ge作基板，其表面光圈N≤5，局部光圈ΔN≤0.5，平行度θ≤1’，表面光洁度优于60/40；镀膜材料选择硫化锌ZnS和单晶锗Ge，在单晶锗Ge基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；第一面薄膜膜系设计采用Sub|2.42(.5HL.5H)83.0(.5HL.5H)7|Air；第二面薄膜膜系设计采用Sub|1.2(.5HL.5H)61.6(.5HL.5H)72.32(.5HL.5H)6|Air；采用的蒸发工艺条件是在真空度≤10-3Pa的真空环境下进行300℃以下的加热烘烤，采用物理气相沉积方式加以离子源辅助镀膜；这种7.6微米的前截止红外滤光片，具备优异的信噪比和很好的抑制背景干扰。能广泛用于远红外物体测温探测。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 截止 红外 滤光 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种7.6微米前截止红外滤光片，其特征是：(1)采用尺寸为Φ25.4×1.0mm的单晶锗Ge作基板，其表面光圈N≤5，局部光圈ΔN≤0.5，平行度θ≤1’，表面光洁度优于60/40；(2)镀膜材料选择硫化锌ZnS和单晶锗Ge，在单晶锗Ge基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；(3)第一面薄膜膜系设计采用Sub|2.42(0.5HL0.5H)83.0(0.5HL0.5H)7|Air；第二面薄膜膜系设计采用Sub|1.2(0.5HL0.5H)61.6(0.5HL0.5H)72.32(0.5HL0.5H)6|Air；膜系中符号含义分别为：Sub为基板、Air为空气、H为λc/4单晶锗膜层、L为λc/4硫化锌膜层、λc＝2μm、结构中数字为膜层的厚度系数、结构中的指数是膜堆镀膜的周期数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州麦乐克电子科技有限公司，未经杭州麦乐克电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210064100.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
