[发明专利]使用特殊脉冲式laser进行CIGS膜层划线无效
申请号: | 201210064155.2 | 申请日: | 2012-03-13 |
公开(公告)号: | CN103302409A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 戴嘉男;刘幼海;刘吉人 | 申请(专利权)人: | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201707 上海市青*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明主要目的是使用特殊脉冲式laser进行CIGS膜层划线,一般CIGS模组中,背电极钼使用laser划线,而CIGS中则考虑到CIGS会因Laser产生的高热能量,其能量温度超过CIGS本身承受温度,当温度过高会导致CIGS开始转相形成金属相,这样的金属相会使得前电极与背电极直接导通,失去其二级体及欧姆接触的效果,故本发明则是要改变Laser出光的频率,让laser光输出改成脉冲方式进行划线,其脉冲的意思是指当光一出光后,其光会马上停止功率,让光能量先降下,待约数各奈秒后再次出光,这样的出光方式可以让CIGS在一接触Laser后会开始熔融但还不会开始转相,随后当laser再次出光,其只会去除熔融部分而不会造成CIGS转相,而Laser因精准度高,故可藉由这样的方式来提升CIGS太阳能膜层的效率。 | ||
搜索关键词: | 使用 特殊 脉冲 laser 进行 cigs 划线 | ||
【主权项】:
一种特殊脉冲式laser进行CIGS膜层划线,一般CIGS模组中,背电极钼则是使用laser进行划线,而在CIGS中则是考虑到CIGS会因为一般Laser产生的高热能量,其高热能量在温度远远超过CIGS本身能承受温度,当温度过高会导致CIGS开始转相形成金属相,这样的金属相会使得前电极与背电极直接导通,失去其二级体及欧姆接触的效果,故本发明则是要改变Laser出光的频率,让laser光输出改成脉冲的方式来进行划线,其脉冲的意思是指当光一出光后,其光会马上停止功率,让光能量先降下,待约数各奈秒后再次出光,这样的出光方式可以让CIGS在一接触Laser后会开始熔融但还不会开始转相,随后当laser再次出光,其只会去除熔融部分而不会造成CIGS转相,再加上Laser本身最大功能就是精准度高,故可藉由这样的方式来提升CIGS太阳能膜层的效率。
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