[发明专利]使用特殊脉冲式laser进行CIGS膜层划线无效

专利信息
申请号: 201210064155.2 申请日: 2012-03-13
公开(公告)号: CN103302409A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 戴嘉男;刘幼海;刘吉人 申请(专利权)人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
主分类号: B23K26/36 分类号: B23K26/36;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201707 上海市青*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明主要目的是使用特殊脉冲式laser进行CIGS膜层划线,一般CIGS模组中,背电极钼使用laser划线,而CIGS中则考虑到CIGS会因Laser产生的高热能量,其能量温度超过CIGS本身承受温度,当温度过高会导致CIGS开始转相形成金属相,这样的金属相会使得前电极与背电极直接导通,失去其二级体及欧姆接触的效果,故本发明则是要改变Laser出光的频率,让laser光输出改成脉冲方式进行划线,其脉冲的意思是指当光一出光后,其光会马上停止功率,让光能量先降下,待约数各奈秒后再次出光,这样的出光方式可以让CIGS在一接触Laser后会开始熔融但还不会开始转相,随后当laser再次出光,其只会去除熔融部分而不会造成CIGS转相,而Laser因精准度高,故可藉由这样的方式来提升CIGS太阳能膜层的效率。
搜索关键词: 使用 特殊 脉冲 laser 进行 cigs 划线
【主权项】:
一种特殊脉冲式laser进行CIGS膜层划线,一般CIGS模组中,背电极钼则是使用laser进行划线,而在CIGS中则是考虑到CIGS会因为一般Laser产生的高热能量,其高热能量在温度远远超过CIGS本身能承受温度,当温度过高会导致CIGS开始转相形成金属相,这样的金属相会使得前电极与背电极直接导通,失去其二级体及欧姆接触的效果,故本发明则是要改变Laser出光的频率,让laser光输出改成脉冲的方式来进行划线,其脉冲的意思是指当光一出光后,其光会马上停止功率,让光能量先降下,待约数各奈秒后再次出光,这样的出光方式可以让CIGS在一接触Laser后会开始熔融但还不会开始转相,随后当laser再次出光,其只会去除熔融部分而不会造成CIGS转相,再加上Laser本身最大功能就是精准度高,故可藉由这样的方式来提升CIGS太阳能膜层的效率。
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