[发明专利]一种单晶炉加料装置有效
申请号: | 201210065031.6 | 申请日: | 2012-03-13 |
公开(公告)号: | CN102618919A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 张松华;雷世友 | 申请(专利权)人: | 杭州奔博科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 杭州赛科专利代理事务所 33230 | 代理人: | 陈辉 |
地址: | 311106 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种单晶炉加料装置,包括真空泵、加料器、加料连接筒、漏斗、内管、内管支撑件、外管、外管支撑、转动电机和线性移动导轨,所述的加料器上部通过真空管与真空泵连接,加料连接筒上下两端各设有一个真空密封连接法兰,加料连接筒上端通过真空密封连接法兰与加料器连接,转动电机设于加料连接筒上侧且与线性移动导轨同轴驱动,漏斗上端固定于加料连接筒上部内侧,漏斗下端与内管连接。本发明的有益效果在于:通过转动电机和线性移动导轨的控制,使加料更为精确、便捷,为不同型号、大小的单晶炉石英坩埚进行加料,避免能源浪费。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加料 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶炉加料装置,其特征在于:包括真空泵、加料器、加料连接筒、漏斗、内管、内管支撑件、外管、外管支撑、转动电机和线性移动导轨,所述的加料器上部通过真空管与真空泵连接,加料连接筒上下两端各设有一个真空密封连接法兰,加料连接筒上端通过真空密封连接法兰与加料器连接,转动电机设于加料连接筒上侧且与线性移动导轨同轴驱动,漏斗上端固定于加料连接筒上部内侧,漏斗下端与内管连接,内管支撑件一端固定于加料连接筒上部内侧,内管支撑件另一端固定于内管上部外侧,外管支撑件一端与线性移动导轨连接,另一端固定于外管上部外侧,所述的外管套接与内管外侧。
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