[发明专利]一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台

摘要

本发明具体涉及一种基于空气静压轴承技术的大范围调倾调心工作台，属于精密测量技术领域。本发明的一种基于空气静压轴承技术的大范围高精度调倾调心装置，包括调倾平台、调倾平台座、调心平台、X向微位移发生器、Y向微位移发生器、Z向微位移发生器、X向导向装置、Y向导向装置、若干个回复弹簧；其连接关系为：将调倾平台座放置在调心平台上，未接通低压空气时二者紧密贴合。调倾平台座上放置调倾平台，调倾平台的下表面与调倾平台座的上表面为截面形状互补的表面，未接通低压空气时二者紧密贴合。本发明增大调心、调倾范围，提高调心、调倾精度，满足被测件几何参数和光学参数的高精度测量等需求。

主权项

一种基于空气静压轴承技术的大范围高精度调倾调心装置，其特征在于：包括调倾平台(2)、调倾平台座(4)、调心平台(5)、X向微位移发生器(6)、Y向微位移发生器(3)、Z向微位移发生器(9)、X向导向装置(16)、Y向导向装置(17)、若干个回复弹簧(18)；其连接关系为：将调倾平台座(4)放置在调心平台(5)上，未接通低压空气时二者紧密贴合；调倾平台座(4)上放置调倾平台(2)，调倾平台(2)的下表面与调倾平台座(4)的上表面为截面形状互补的表面，未接通低压空气时二者紧密贴合；X向微位移发生器(6)、Y向微位移发生器(3)和三个Z向微位移发生器(9)，分别放置在工作台周围，用于工作台倾斜和偏心的调整，其中X向微位移发生器(6)沿X向作用于调心平台(5)；Y向微位移发生器(3)沿Y向作用于调倾平台座(4)；当调倾平台(2)绕X轴、Y轴做滚转或俯仰时，保证在坐标系的X轴或Y轴上安装一个Z向微位移发生器(9)，再在X轴或Y轴两侧对称安装两个Z向微位移发生器(9)，三个Z向微位移发生器(9)共同作用于调倾平台(2)；X向导向装置(16)安放于调心平台(5)沿X向的两侧，用于限定调心平台(5)沿X方向的运动；Y向导向装置(17)安放于调倾平台座(4)沿Y向的两侧，用于限定调心平台(5)沿Y方向的运动；置于X向微位移发生器(6)的对径位置的回复弹簧，是用于提供X方向偏心调整的回复力；置于Y向微位移发生器(3)的对径位置的回复弹簧，是用于提供Y方向偏心调整的回复力；置于三个Z向微位移发生器(9)附近的回复弹簧，是用于提供调倾回复力，限定调整范围，防止倾覆侧翻，保证调倾平台(2)与调倾平台座(4)之间相对位置的稳定。