[发明专利]TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210065253.8 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102586734A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 邵天敏;商宏飞;李健 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/14;C23C14/22;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法。本发明所述的TiAlN/Ta多层膜刀具涂层组分主要为TiAlN和Ta，由TiAlN和Ta交替沉积制备，涂层最外层为TiAlN层。TiAlN层和Ta层的厚度和沉积次数都可根据具体要求和具体的沉积设备确定。本发明所述的TiAlN/Ta多层膜涂层可利用气相沉积方法获得。本发明在刀具基体的基础上交替沉积，是一种新型多功能刀具涂层，它具有高硬度和优良抗氧化性能。 | ||
| 搜索关键词： | tialn ta 多层 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TiAlN/Ta多层膜刀具涂层，其特征在于：在刀具基体的基础上，依次交替沉积TiAlN层和Ta层，沉积的内层是TiAlN层，最外层也是TiAlN层。
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