[发明专利]平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法

摘要

本发明公开了一种平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法，检测开始后，射线产生装置产生的锥形射线束对电子元件进行扫描，射线探测及数据采集装置获得射线投影数据，然后传送给控制及图像处理系统成像，包括数字式辐射成像DR和计算机层析成像CT。计算机层析成像时，根据平移式锥束射线扫描获得的不完全投影数据，采用本发明提出的基于子区域平均化和总变差最小化的平移式锥束CT迭代重建算法重建CT图像，可获得高质量三维CT图像。本发明用于对生产线上的电子元件进行高精度在线检测，可对电子元件的内外结构进行放大DR成像和三维CT成像；装置结构简单，扫描效率高；能有效检测电子元件的材质缺陷及装配缺陷。

主权项

平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法，包括射线产生装置、射线探测及数据采集装置、控制及图像处理系统和平移式传送装置；所述射线产生装置(1)、射线探测及数据采集装置(2)、平移式传送装置(3)的信号线路与控制及图像处理系统(7)相连，平移式传送装置(3)与电子元件生产线(8)相邻接，射线产生装置(1)靠近传送装置(3)并位于传送装置(3)上方，射线探测及数据采集装置(2)远离传送装置(3)并位于传送装置(3)下方，射线产生装置(1)和射线探测及数据采集装置(2)固定不动，待检电子元件(4)置于传送装置(3)上并与之保持相对静止状态，在控制及图像处理系统(7)的控制下，电子元件(4)随传送装置(3)以横向平移的方式运动，其特征在于：工作过程包括以下步骤：S1：启动射线产生装置、射线探测及数据采集装置、控制及图像处理系统和平移式传送装置；S2：射线产生装置产生的锥形射线束对电子元件进行扫描，射线探测及数据采集装置获得射线投影数据；S3：控制及图像处理系统接收射线投影数据；S4：得到待检电子元件的数字式辐射成像DR图像；S5：判断DR图像中是否存在缺陷区域；如果否，则转S1；S6：如果是，则重建待检电子元件内外结构的三维计算机层析成像CT图像。