[发明专利]振动装置

摘要

本发明提供一种振动装置，其包括驱动器和连结部件，连结部件包括：第1水平线性导向件，以使工作台沿第1水平方向滑动自如的方式支承工作台；铅垂线性导向件，以使工作台沿铅垂方向滑动自如的方式支承工作台；中间工作台，通过将其一表面固定于第1水平线性导向件，将另一表面固定于铅垂线性导向件，从而将它们连结起来，铅垂线性导向件包括：导轨，安装于工作台的侧面，沿铅垂方向延伸；滑块，安装于中间工作台，与导轨卡合，铅垂线性导向件以使工作台和中间工作台沿铅垂方向滑动自如的方式将它们连结起来，在工作台沿铅垂方向进行振动时，仅连结部件中的、铅垂线性导向件的沿铅垂方向延伸的导轨与工作台一起沿铅垂方向振动。

主权项

一种振动装置，其使用于安装工件的工作台沿第1水平方向、与第1水平方向正交的第2水平方向、以及铅垂方向这正交的三个方向进行振动，其包括：驱动器，其用于使上述工作台沿第1水平方向进行振动；连结部件，其以使上述工作台相对于上述驱动器的沿第1水平方向振动的驱动部沿第2水平方向和铅垂方向滑动自如的方式将上述工作台与上述驱动部相连结，上述连结部件包括：第1水平线性导向件，其以使上述工作台相对于上述驱动部沿第1水平方向滑动自如的方式支承上述工作台；铅垂线性导向件，其以使上述工作台相对于上述驱动部沿铅垂方向滑动自如的方式支承上述工作台；中间工作台，其通过将其一表面固定于上述第1水平线性导向件，将其另一表面固定于上述铅垂线性导向件，从而将上述第1水平线性导向件和上述铅垂线性导向件连结起来，上述铅垂线性导向件包括：导轨，其安装于上述工作台的侧面，沿铅垂方向延伸；滑块，其安装于上述中间工作台，与上述导轨卡合，上述铅垂线性导向件以使上述工作台和上述中间工作台沿铅垂方向滑动自如的方式将上述工作台和上述中间工作台连结起来，在上述工作台沿铅垂方向进行振动时，仅上述连结部件中的、上述铅垂线性导向件的沿铅垂方向延伸的导轨与上述工作台一起沿铅垂方向振动。