[发明专利]一种用于超高温状态下产生温差的热场结构有效
申请号: | 201210066029.0 | 申请日: | 2012-03-14 |
公开(公告)号: | CN102605426A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 李坚;侯秉强 | 申请(专利权)人: | 苏州先端稀有金属有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/14;C30B35/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215562 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种用于超高温状态下产生温差的热场结构,包括炉体、同轴设置在炉体内的侧保温屏、设置在侧保温屏的上部的上保温屏、设置在侧保温屏的下部的下保温屏、加热器组件,该加热器组件包括同轴设置在侧保温屏内的笼状的主加热器及设置于侧保温屏与主加热器之间的筒状的补偿加热器,该补偿加热器由多个弧形板构成,主加热器及补偿加热器均有金属钨制成。本设计将传统技术中的上、下两个加热器用一个主加热器替代,并在该主加热器的外部的下端加设补偿加热器,在需要加工热时,通过补偿加热器灵活地实时调控温度,以对坩埚底部温度更好地控制;而在不需要加工热时,该补偿加热器又可以作为一层保温屏障使用,起到辅助保温的作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 超高温 状态 产生 温差 结构 | ||
【主权项】:
一种用于超高温状态下产生温差的热场结构,其特征在于:包括设置在炉体内的加热器组件、设置在所述的加热器组件与所述的炉体内壁之间的保温组件、设置在所述的加热器组件的轴心的坩埚,所述的保温组件包括同轴设置与所述的炉体内的筒状侧保温屏、设置在所述的侧保温屏的上端的上保温屏、设置在所述的侧保温屏的下端的下保温屏,所述的加热器组件包括呈笼状的主加热器和呈筒状的补偿加热器,所述的主加热器同轴设置于所述的侧保温屏内,所述的主加热器的上端部沿径向向外延伸形成多根主加热器引出电极,这些所述的主加热器引出电极分别对应穿过所述的侧保温屏及所述的炉体上的通孔而伸出所述的炉体外;所述的补偿加热器同轴设置于所述的侧保温屏与所述的主加热器之间,所述的补偿加热器的下端部与所述的主加热器的下端部位于同一水平面内,所述的补偿加热器的高度小于所述的主加热器的高度的二分之一,所述的补偿加热器的上端部沿径向向外延伸设置有多根补偿加热器引出电极,这些所述的补偿加热器引出电极分别对应穿过所述的侧保温屏及所述的炉体上的通孔而伸出所述的炉体外,所述的主加热器的下底部具有一个口部,所述的坩埚通过伸入该口部的料柱支撑于所述的主加热器内,所述的坩埚的正上方设置有仔晶保护罩,该仔晶保护罩嵌在所述的上保温屏的中心。
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