[发明专利]蒸发镀膜均匀性挡板有效
| 申请号： | 201210066103.9 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102605328A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 张全文 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及的一种蒸发镀膜均匀性挡板，其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体，所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边，在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口，即所述外凸圆弧形边呈锯齿状。本发明通过将外凸圆弧形边的边缘带钜齿状，调整各片产品中心点波长的一致，更好的控制每片产品的周边的各点的波长，本发明调整产品的各点波长的一致性，提高生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 均匀 挡板 | ||
【主权项】：
蒸发镀膜均匀性挡板，其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体，其特征在于，所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边，在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口，即所述外凸圆弧形边呈锯齿状。
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