[发明专利]光阻剥离液的供应系统及其供应方法有效
| 申请号： | 201210068615.9 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102566334A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 吴昌骏;李志文;林家弘;许誉腾 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光阻剥离液的供应系统及其供应方法，该光阻剥离液的供应系统包括第一储存槽，用以储存并供应第一光阻剥离废液；处理设备，用以接收并处理来自第一储存槽的第一光阻剥离废液，并分别输出光阻剥离液与第二光阻剥离废液；第二储存槽，用以储存并输出来自处理设备的光阻剥离液；及第三储存槽，用以储存来自处理设备的第二光阻剥离废液。供应系统处于第一运转阶段时，处理设备输出第二光阻剥离废液至第一储存槽，并停止输出第二光阻剥离废液至第三储存槽；供应系统处于第二运转阶段时，处理设备输出第二光阻剥离废液至第三储存槽，并停止输出第二光阻剥离废液至第一储存槽。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 供应 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种光阻剥离液的供应系统，包括：一第一储存槽，用以储存并供应一第一光阻剥离废液；一处理设备，与该第一储存槽连接，该处理设备接收并处理该第一光阻剥离废液，以分别输出一光阻剥离液与一第二光阻剥离废液；一第二储存槽，与该处理设备连接，该第二储存槽用以储存并输出来自该处理设备的该光阻剥离液；及一第三储存槽，与该处理设备连接，该第三储存槽用以储存来自该处理设备的该第二光阻剥离废液；其中于一第一运转阶段时，该处理设备输出该第二光阻剥离废液至该第一储存槽，并停止输出该第二光阻剥离废液至该第三储存槽；于一第二运转阶段时，该处理设备输出该第二光阻剥离废液至第三储存槽，并停止输出该第二光阻剥离废液至该第一储存槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210068615.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
