[发明专利]一种减振平台及基于该减振平台的光学检测系统无效
| 申请号： | 201210069960.4 | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN102621064A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 张建辉 | 申请（专利权）人： | 无锡正慈机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 214206 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种减振平台，包括可移动台面和用于驱动可移动台面运动的驱动系统，还包括减振底座，所述的可移动台面的驱动系统设置于减振底座上。同时公开了一种基于该减振平台的光学检测系统。本发明的减振平台充分考虑到应用在大尺寸大移动量条件下精密减振的需要，其整体振动量较小，可达0.005mm数量级。不仅实现在X、Y两个方向上的大尺寸和大移动量条件下的精密减振，同时也实现在X、Y、Z三个方向上的大尺寸和大移动量条件下的精密减振，尤其适用于尺寸超过200mm×200mm的大尺寸光学检测系统。基于该减振平台的光学检测仪充分考虑到光学检测精密测量的需要，利用减振平台的减振结构，保证了光学检测的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平台 基于 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种减振平台，包括可移动台面（2）和用于驱动可移动台面（2）运动的驱动系统，其特征在于，还包括减振底座（5），所述的可移动台面（2）的驱动系统设置于减振底座（5）上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡正慈机电科技有限公司，未经无锡正慈机电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210069960.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
