[发明专利]一种六硼化镨纳米线及其制备方法无效
申请号: | 201210071254.3 | 申请日: | 2012-03-19 |
公开(公告)号: | CN102583423A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 许军旗;刘江峰;许东利;乔月凤;闫海龙;董宝平;侯广华 | 申请(专利权)人: | 许军旗;刘江峰;许东利 |
主分类号: | C01B35/04 | 分类号: | C01B35/04;B82Y40/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 464000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种六硼化镨纳米线的制备方法,其工艺步骤为:步骤1:称量一定量的镨源,放入石英小试管的底部,并把石英小试管放置到管式电炉的石英管中部;步骤2:把纯净的衬底放到石英板上,并把石英板置入管式电炉的石英管前驱体的下气流方向;密封石英管,充满保护和还原气体,然后对石英管抽真空;步骤3:在真空条件下以升温速率约为15℃/min加热石英管到900-1040℃,通入硼源,其流速为20-40sccm;保持10-40分钟;步骤4:最后在真空气氛下降温,直至冷却至室温;取出衬底直接观察。本方法不需要复杂的工艺条件,工艺简单,结晶度好,产率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 六硼化镨 纳米 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种六硼化镨纳米线的制备方法,其特征在于:其工艺步骤为:步骤1:称量一定量的镨源,放入石英小试管的底部,并把石英小试管放置到管式电炉的石英管中部;步骤2:把纯净的衬底放到石英板上,并把石英板置入管式电炉的石英管前驱体的下气流方向;密封石英管,充满保护和还原气体,然后对石英管抽真空;步骤3:在真空条件下以升温速率约为15℃/min加热石英管到900‑1040℃,通入硼源,其流速为20‑40sccm;保持10‑40分钟;步骤4:最后在真空气氛下降温,直至冷却至室温;取出衬底直接观察。
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