[发明专利]一种矩阵式蓝宝石衬底及其制备方法无效
| 申请号： | 201210071310.3 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN102610578A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 张保国;林岳明 | 申请（专利权）人： | 无锡纳克斯半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种矩阵式蓝宝石衬底，包括衬底本体（1），其特征在于所述衬底本体（1）的表面设有纵横交错布置的刻槽（2），所述矩阵式蓝宝石衬底的制备方法工艺步骤为：抛光蓝宝石衬底、上光阻、软烤、曝光、预烤、显影、ICP蚀刻蓝宝石衬底、清洗光阻、CMP、清洗蓝宝石衬底。该矩阵式蓝宝石衬底容易从芯片上激光剥离，可以重复利用，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 矩阵 蓝宝石 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种矩阵式蓝宝石衬底，包括衬底本体（1），其特征在于所述衬底本体（1）的表面设有纵横交错布置的刻槽（2）。
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