[发明专利]半导体器件无效

专利信息
申请号: 201210071400.2 申请日: 2012-03-16
公开(公告)号: CN103022098A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 大田刚志;三须伸一郎;新井雅俊 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: H01L29/41 分类号: H01L29/41
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 陈萍
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 实施方式涉及的半导体器件具备:衬底;第1导通部;第2导通部;半导体部;第1电极部;第2电极部;第1绝缘部;及第2绝缘部。第1导通部在Z轴方向上延伸。第2导通部在Z轴方向上延伸,沿着X轴方向与第1导通部分离。半导体部设置在第1导通部和第2导通部之间。第1电极部在第1导通部和第2导通部之间于Z轴方向上延伸。第2电极部在第1电极部和第2导通部之间于Z轴方向延伸,与第1电极部分离。第1绝缘部设置在第1电极部和半导体部之间,在第1电极部的边界面的法线方向上具有第1厚度。第2绝缘部设置在第2电极部和半导体部之间,在第2电极部的边界面的法线方向上具有比第1厚度还厚的第2厚度。
搜索关键词: 半导体器件
【主权项】:
半导体器件,其特征在于,具备:衬底;第1导通部,在与上述衬底的主面正交的第1方向上延伸;第2导通部,在上述第1方向上延伸,沿着与上述第1方向正交的第2方向而与上述第1导通部分离设置;半导体部,设置在上述第1导通部和上述第2导通部之间,包括基于第1杂质浓度的第1导电型的第1半导体区域;第1电极部,在上述第1导通部和上述第2导通部之间于上述第1方向延伸;第2电极部,在上述第1电极部和上述第2导通部之间于上述第1方向延伸,与上述第1电极部分离设置;第1绝缘部,设置在上述第1电极部和上述半导体部之间,在上述第1电极部的边界面的法线方向上具有第1厚度;及第2绝缘部,设置在上述第2电极部和上述半导体部之间,在上述第2电极部的边界面的法线方向上具有比上述第1厚度还厚的第2厚度。
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