[发明专利]伸缩谐振式三维电场传感器有效
| 申请号： | 201210071588.0 | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN103308781A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;王宇;方东明;彭春荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种伸缩谐振式三维电场传感器。该伸缩谐振式三维电场传感器包括：衬底；梁式结构框架；X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元，位于衬底上，分别用于测量电场强度矢量的X方向、Y方向和Z方向的分量，均包括屏蔽电极和感应电极，至少一组驱动机构，与X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元其中之一的屏蔽电极匹配，用于对该屏蔽电极产生驱动力，使其相对于感应电极产生振动，并且该振动通过梁式结构框架传递至除所在电场测量单元外的其他测量单元。本发明伸缩谐振式三维电场传感器只需加载一组激励信号便可驱动三个电场测量单元中电极的振动，从而实现电场矢量三个不同分量的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩 谐振 三维 电场 传感器 | ||
【主权项】：
一种伸缩谐振式三维电场传感器，包括：衬底；梁式结构框架，位于衬底上，用于在X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元的屏蔽电极间传递振动；X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元，位于衬底上，分别用于测量电场强度矢量的X方向、Y方向和Z方向的分量，均包括屏蔽电极和感应电极，其中：感应电极，固定于衬底；屏蔽电极，通过第二类梁结构与梁式结构框架相连接，可相对于感应电极做相对振动，以使感应电极产生感应电流；及至少一组驱动机构，与X方向电场测量单元、Y方向电场测量单元和Z方向电场测量单元其中之一的屏蔽电极匹配，用于对该屏蔽电极产生驱动力，使其相对于感应电极产生振动，并且该振动通过梁结构框架被传递至除所在电场测量单元外的其他测量单元。
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