[发明专利]一种适用于非均匀光照明的哈特曼波前测量仪有效
| 申请号： | 201210072934.7 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN102589720A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 马晓燠;母杰;饶长辉;饶学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00;G01J1/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种适用于非均匀光照明的哈特曼波前测量仪，包括分光镜、光强分布测量仪、重构矩阵计算器、微透镜阵列、CCD相机、斜率计算器和波前重构器；光强分布测量仪首先测量出入射波前的光功率密度，重构矩阵计算器根据入射波前的光功率密度和所需复原像差的类型计算得到重构矩阵，斜率计算器根据CCD相机采集得到的光斑阵列计算得到被测波前的斜率向量，波前重构器根据斜率向量和重构矩阵计算得到被测波前。本发明改进了哈特曼波前传感器采用模式法波前复原过程中重构矩阵的计算方法，提高了当入射光强不均匀时，重构矩阵算法中波前斜率的计算精度，为高精度复原非均匀光照明条件下的入射波前提供了核心解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 均匀 照明 哈特曼波前 测量仪 | ||
【主权项】：
一种适用于非均匀光照明的哈特曼波前测量仪，其特征在于包括：分光镜(1)、光强分布测量仪(2)、重构矩阵计算器(3)、微透镜阵列(4)、CCD相机(5)、斜率计算器(6)和波前重构器(7)；入射波前(8)经分光镜(1)后分为波前能量测量部分(9)和波前斜率测量部分(10)；波前能量测量部分(9)进入光强分布测量仪(2)，光强分布测量仪(2)测量入射波前(8)的光功率密度并将光功率密度数据传递给重构矩阵计算器(3)，重构矩阵计算器(3)根据入射波前(8)的光功率密度和所需复原像差的类型计算得到重构矩阵送至波前重构器(7)；波前斜率测量部分(10)经微透镜阵列(4)分割后在CCD相机(5)处形成光斑阵列，CCD相机(5)采集得到的光斑阵列的图像后传递给斜率计算器(6)计算得到被测波前(8)的斜率向量送至波前重构器(7)；最后波前重构器(7)根据斜率向量和重构矩阵计算得到被测波前(8)的相位分布。
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