[发明专利]异物清除设备

摘要

本发明涉及异物清除设备。测量单元测量从第一检测电极的振动检测信号的输出到第二检测电极的振动检测信号的输出的检测相位差量。当设置单元设置了预先设置的第一驱动相位量时，设置单元基于测量单元所测量到的检测相位差量来设置第二驱动相位差量。当设置单元设置了第一驱动相位差量时驱动单元对第一驱动电极和第二驱动电极施加的第一电压低于当设置单元设置了第二驱动相位差量时驱动单元对第一驱动电极和第二驱动电极施加的第二电压。

主权项

一种异物清除设备，包括：光学构件；第一压电元件，其附着至所述光学构件，其中，在所述第一压电元件上形成有第一驱动电极和第一检测电极；第二压电元件，其附着至所述光学构件，其中，在所述第二压电元件上形成有第二驱动电极和第二检测电极；驱动单元，用于对所述第一驱动电极供电以驱动所述第一压电元件，以及对所述第二驱动电极供电以驱动所述第二压电元件；振动检测单元，用于基于所述第一检测电极和所述第二检测电极的输出而检测所述光学构件的振动；设置单元，用于设置从对所述第一驱动电极供电、到对所述第二驱动电极供电的驱动相位差量；以及测量单元，用于测量从所述振动检测单元基于所述第一检测电极的输出而检测到所述光学构件的振动、到所述振动检测单元基于所述第二检测电极的输出而检测到所述光学构件的振动的检测相位差量，其中，所述设置单元设置要预先设置的第一驱动相位差量，所述设置单元基于当所述设置单元设置了所述第一驱动相位差量时所述测量单元所测量到的检测相位差量来设置第二驱动相位差量，当所述设置单元设置了所述第一驱动相位差量时，所述驱动单元对所述第一驱动电极和所述第二驱动电极施加第一电压，当所述设置单元设置了所述第二驱动相位差量时，所述驱动单元对所述第一驱动电极和所述第二驱动电极施加第二电压，以及所述第一电压低于所述第二电压。