[发明专利]一种用于PECVD设备的自动上下料装置

摘要

本发明涉及一种用于PECVD设备的自动上下料装置，包括控制模块和支座；支座上设置有用于放置石墨舟的储舟位、小车和桨位，以及设置有用于完成石墨舟在储舟位、小车和桨位上存取的机械手；支座上还设置有用于控制机械手在水平方向运动的水平运动单元，和用于控制机械手在垂直方向上下运动的垂直运动单元；控制模块与PECVD设备的上位机连接，用于根据储舟位、小车和桨位上有无石墨舟的状态信号、以及上位机的取石墨舟、装石墨舟信号来控制水平运动单元和垂直运动单元驱动机械手动作。本发明可以做到定位准确，装卸石墨舟效率高，降低了操作员的工作强度，不会损坏石墨舟，且镀膜均匀性好，同时还能大大延长石墨舟的使用寿命。

主权项

一种用于PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于，包括控制模块和支座；所述支座上设置有用于放置石墨舟的储舟位、小车和桨位，以及设置有用于完成石墨舟在所述储舟位、所述小车和所述桨位上存取的机械手；所述支座上还设置有用于控制所述机械手在水平方向运动的水平运动单元，和用于控制所述机械手在垂直方向上下运动的垂直运动单元；所述控制模块与所述PECVD设备的上位机连接，用于根据所述储舟位、所述小车和所述桨位上有无石墨舟的状态信号、以及所述上位机的取石墨舟、装石墨舟信号来控制所述水平运动单元和所述垂直运动单元驱动所述机械手动作。