[发明专利]具有超平滑阳极的柔性顶发射有机电致发光器件

摘要

本发明属于光电子技术领域，具体涉及一种具有超平滑阳极的高度柔性、高效率的有机电致发光器件。采用脱模工艺结合真空蒸镀技术制备超平滑阳极的柔性衬底，并且利用此衬底制备顶发射有机电致发光器件。制备得到的阳极粗糙度远小于直接蒸镀的金属电极的粗糙度，有利于载流子的注入，器件的发光效率较传统制备在硅衬底上的顶发射器件有明显的提高。为了进一步提高器件的寿命和稳定性，我们利用紫外固化光敏聚合材料对器件进行了封装，这样器件的衬底及封装材料即为同种材料，利用紫外固化的方法结合到一起，融合性好。最终得到的器件具有非常优异的柔性和机械稳定性，可以弯曲到很小的曲率半径，甚至对折，并且任意的多次弯折，都不会对器件造成明显的影响。

主权项

一种具有超平滑阳极的柔性顶发射有机电致发光器件，其是由如下方法制备得到：在清洗干净的有SiO2绝缘层的Si衬底上，利用金属沉积系统生长金属阳极，生长的过程中系统的真空度维持在1×10‑3～3×10‑3Pa，生长的金属阳极的厚度为60～100nm；之后在金属阳极表面旋涂光敏聚合材料，旋涂转速为1000～1500rpm，旋涂时间为10～30s，光敏聚合材料的厚度为0.3～0.8mm；之后对光敏聚合材料进行紫外曝光处理3～5min使其固化，再将固化后的光敏聚合材料从Si衬底上剥离，得到具有金属阳极的柔性衬底；最后在多源有机分子气相沉积系统中，在金属阳极上依次生长阳极修饰层、空穴注入层、空穴传输层、发光层兼作电子传输层和阴极，从而制备得到具有超平滑阳极的柔性顶发射有机电致发光器件。