[发明专利]硬质合金刀具表面沉积类金刚石膜的方法及硬质合金刀具无效
申请号: | 201210077664.9 | 申请日: | 2012-03-22 |
公开(公告)号: | CN103320766A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 汪瑞军;李振东;詹华;吕玉芬;王世兴 | 申请(专利权)人: | 中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/27 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 100083 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种硬质合金刀具表面沉积类金刚石膜的制备方法及表面沉积有类金刚石膜的硬质合金刀具,方法包括超声波清洗硬质合金刀具步骤、离子清洗硬质合金刀具步骤、以及采用射频等离子增强化学气相沉积工艺在硬质合金刀具表面沉积厚度为0.2~0.6μm类金刚石膜步骤。本发明在硬质合金刀具表面制备DLC膜时具有沉积温度低、工艺流程简单及制得的薄膜附着力强、内应力小等优点,在轻质材料加工方面具有良好的工业应用前景。 | ||
搜索关键词: | 硬质 合金刀具 表面 沉积 金刚石 方法 | ||
【主权项】:
一种硬质合金刀具表面沉积类金刚石膜的方法,其特征在于,包括:S100,超声波清洗硬质合金刀具步骤;S200,离子清洗硬质合金刀具步骤;以及S300,采用射频等离子增强化学气相沉积工艺在硬质合金刀具表面沉积厚度为0.2~0.6μm类金刚石膜步骤。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的