[发明专利]1.3μm波长的无偏振高效率发光量子点器件及设计方法有效
| 申请号： | 201210079422.3 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN103325898A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 贾巍;李相银;邓君;本杰明·里德;陈振星;王旭;武红;罗伯特·泰勒;亚伦·丹尼尔;蒋立勇 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01S5/343 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 马鲁晋 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种1.3μm波长的无偏振高效率发光量子点器件。我们采用在基底沉积全方向反射镜结构(DBR)，然后再沉积制备量子点(InAs/GaAs)，接着继续沉积以供刻蚀微腔的材料层。利用电子束曝光系统(EBL)与感应耦合等离子体刻蚀设备(ICP)，在顶层的材料制备出设计的环形空气孔光子晶体微腔。利用本发明设计的量子点发光器件，可以对1.3μm波长的横磁模(TM)与横电模(TE)均具有很高的品质因子和发光效率。本发明提出的发光量子点器件可以实现在1.3μm波长横磁模(TM)与横电模(TE)的高效率发射。 | ||
| 搜索关键词： | 1.3 波长 偏振 高效率 发光 量子 器件 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种1.3μm波长的无偏振高效率发光量子点器件，其特征在于，包括自上而下依次设置的环形空气孔光子晶体微腔[1]、量子点层[2]、全方向反射镜结构[3]、基底[4]，其中环形空气孔光子晶体微腔[1]为三角晶格环形空气孔的光子晶体微腔，该光子晶体微腔的结构类型为L3型，即光子晶体中心处沿X轴缺失三个单位元，光子晶体微腔缺陷处左右两侧的孔[7]为空气孔，光子晶体微腔的材料为GaAs。
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