[发明专利]一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法有效
| 申请号： | 201210080275.1 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102607461A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 马冬梅;邵晶 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功能，既能够对光学元件的面形误差进行测试，又能对测试装置进行高精度校准。本发明具有低成本、高精度的特点，适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 误差 高精度 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件面形误差的高精度测试装置，该装置包括探测装置(1)、照明系统(2)、可转动的小孔板(3)和待测光学元件(4)；其特征是，所述可转动的小孔板(3)上设置有小孔(5)、中心孔(6)和方孔(7)；可转动的小孔板(3)以中心孔(6)为圆心转动；小孔(5)到中心孔(6)的距离与方孔(7)到中心孔(6)的距离相等，所述中心孔(6)的直径为![]()
其中NA为待测光学元件(4)的数值孔径；λ为照明系统(2)发出光束的波长，照明系统(2)发出的光束经过可转动的小孔板(3)的中心孔(6)后产生理想测试光束，光束经过待测光学元件(4)反射会聚后穿过可转动的小孔板(3)上的小孔(5)或者方孔(7)后，被探测装置(1)采集。
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