[发明专利]单轴回转式机械手臂

摘要

本发明涉及微电子制造设备技术领域，具体地说是一种单轴回转式机械手臂，包括机械手臂外罩、安装在机械手臂外罩内的无杆气缸、旋转气缸、主轴和振荡机构，所述机械手臂外罩安装在清洗设备上部的防护隔层上，所述无杆气缸配合连接旋转汽缸，所述旋转汽缸通过齿轮组连接主轴，所述主轴上设有振荡机构，所述主轴下端穿过机械手臂外罩的主轴伸出口，主轴伸出口与主轴II之间设有密封件；本发明同现有技术相比，结构新颖、简单，由于实现了主运动和振荡运动的分离，不仅在竖直轴向具有比较高的耐用性，而且实现了对振荡频率的调节，且保养和维修方便。

主权项

一种单轴回转式机械手臂，包括机械手臂外罩、安装在机械手臂外罩内的无杆气缸、旋转气缸、主轴和振荡机构，其特征在于：所述机械手臂外罩安装在清洗设备上部的防护隔层上，所述无杆气缸配合连接旋转汽缸，所述旋转汽缸通过齿轮组连接主轴，所述主轴上设有振荡机构，所述振荡机构包括振荡套筒、振荡连杆、减速箱、变速刹车马达及变频器，所述主轴由主轴I和主轴II组成，所述主轴I下端连接振荡套筒，所述振荡套筒下端连接主轴II，所述主轴II下端依次穿过机械手臂外罩底部、防护隔层，所述主轴II与机械手臂外罩底部、防护隔层的连接处分别设有密封件，所述振荡连杆位于机械手臂外罩内的下部，所述振荡连杆一端靠近主轴II，所述振荡连杆另一端连接减速箱，所述减速箱连接变速刹车马达，所述变速刹车马达由电路连接变频器。