[发明专利]一种气体传感器芯片及其制作方法和测量系统无效
申请号: | 201210082165.9 | 申请日: | 2012-03-26 |
公开(公告)号: | CN102636525A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 潘革波;李岩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种气体传感器芯片(P)及其测量系统(Q),以及该气体传感器芯片(P)的制作方法。这种气体传感器芯片(P)是一种应用于食品与药品等领域的新鲜程度初步定性的传感器。它包括柔性衬底(1),及设于该柔性衬底(1)上的柔性电极对(2)和传感层(3),所述的传感层(3)设于所述的柔性电极对(2)之间。为了更好地应用本技术发明,提供一种测量系统(Q),包括气体传感器芯片(P)、串联于测量电路中的电压源(9)、报警电路(8)、电流表(10)及测量电极对(11);所述的测量电极对(11)与气体传感器芯片(P)上的柔性电极对(2)连接。本发明大大提高气体传感器芯片(P)的生产效率,扩大了应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 传感器 芯片 及其 制作方法 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种气体传感器芯片(P),包括柔性衬底(1),其特征在于:还包括设于该柔性衬底(1)上的一对柔性电极对(2)和传感层(3);所述的传感层(3)设于所述的柔性电极对(2)之间。
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