[发明专利]大口径光学非球面元件柱坐标接触式测量方法有效
| 申请号： | 201210082345.7 | 申请日： | 2012-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN102607483A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 赵惠英;席建普;李志强;赵则祥;杨和清;陈伟;娄云鸽;李彬;任东旭;陈健龙;张楚鹏;刘孟奇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B21/20 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大口径光学非球面元件柱坐标接触式测量方法，利用测量机通过柱坐标测量方式，采集二维或三维数据；包括以下步骤：步骤S1：利用电感测微仪，找正转台面中心和长度计中心；步骤S2：通过电感测微仪将工件找正；步骤S3：确定基准坐标后，移动X轴将长度计移动到工件边缘确定起始点，将移动量和基准坐标比较确定测量行程L；步骤S4：根据测量机建立工件坐标系和测量坐标系，确定二维测量或三维测量，并进行数据采集，得到所需要的坐标点。本发明测量方法通过超精密形状测量机，能够实现大口径非球面元件铣磨加工后的测量评定，可以实现工件二维和三维误差评定；测量过程易操作，测量方法效率高，测量路径易实现。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 光学 球面 元件 坐标 接触 测量方法 | ||
【主权项】：
一种大口径光学非球面元件柱坐标接触式测量方法，其特征在于，利用测量机通过柱坐标测量方式，采集二维或三维数据；包括以下步骤：步骤S1：利用电感测微仪，找正转台面(11)中心和长度计(9)中心，使上下中心同心，同心精度保证在0.1μm；步骤S2：通过电感测微仪将工件找正，将长度计(9)伸出，记录长度计(9)伸出量，同时记录X轴坐标值，将这点的坐标作为基准坐标(x0，z0)；步骤S3：确定基准坐标后，移动X轴将长度计(9)移动到工件边缘确定起始点，将移动量和基准坐标比较确定测量行程L；步骤S4：根据测量机建立工件坐标系和测量坐标系，确定二维测量或三维测量，并进行数据采集，得到所需要的坐标点。
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