[发明专利]在单独衬底上具有外部谐振器的垂直发射光泵浦半导体有效
| 申请号： | 201210082842.7 | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102684065A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 乌尔里克·斯蒂格马勒;弗兰克·辛格;托马斯·施瓦茨;罗朗德·舒尔茨 | 申请（专利权）人： | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/022 | 分类号： | H01S5/022;H01S5/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王萍;李春晖 |
| 地址： | 德国雷*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明说明了一种用于制造可光泵浦的半导体装置(1)的方法，其包括以下步骤：提供包括复数个单支承体区域(34)的支承体复合结构(80)，这些单支承体区域机械上彼此固定相连，将谐振腔反射器(31)设置到单支承体区域上，以及制成各谐振器附件(40)，提供包括复数个连接支承体(14)的连接支承体复合结构(50)，这些连接支承体机械上彼此固定相连，在连接支承体复合结构(50)的连接支承体(14)上设置表面发射的半导体本体(1)，以及在连接支承体(14)上设置谐振器附件(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 单独 衬底 具有 外部 谐振器 垂直 发射 光泵浦 半导体 | ||
【主权项】：
一种用于制造可光泵浦的半导体装置的方法，其包括以下步骤：‑提供包括复数个单支承体区域(34)的支承体复合结构(80)，这些单支承体区域机械上彼此固定相连，‑将谐振腔反射器(31)设置到单支承体区域上，‑制成各谐振器附件(40)，‑提供包括复数个连接支承体(14)的连接支承体复合结构(50)，这些连接支承体机械上彼此固定相连，‑在连接支承体复合结构(50)的连接支承体(14)上设置表面发射的半导体本体(1)，以及‑在连接支承体(14)上设置谐振器附件(40)。
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