[发明专利]切割装置无效

专利信息
申请号: 201210082994.7 申请日: 2012-03-26
公开(公告)号: CN102756334A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: 中村正治;田中知行;粟子谷;张晋勇 申请(专利权)人: 泰克霍隆株式会社
主分类号: B24B49/12 分类号: B24B49/12;H01L21/301
代理公司: 北京嘉和天工知识产权代理事务所(普通合伙) 11269 代理人: 严慎
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种实现装置总体的低重心化,不需要主轴的Z轴方向移动,使主轴保持机构简单化的小型切割装置。在Z轴移动机构(34)内包围着配置θ旋转机构(16),重心位置变低地一体化形成的Z轴-θ轴机构(50)组装到工作台保持机构(40)侧。通过降低重心位置,抑制使工作台(24)沿着X轴、Y轴、θ轴方向高速移动时在切割装置内产生的振动的振幅使其变小。另外,主轴保持机构(32)通过形成为不具备Z轴移动机构的结构,而成为不产生伴随主轴的移动的旋进的构造。
搜索关键词: 切割 装置
【主权项】:
一种切割装置,所述切割装置包括:主轴保持机构和工作台保持机构,所述主轴保持机构具备用于进行与旋转刀片的旋转轴平行的分度进给方向的移动的Y轴移动机构并且用于保持安装有所述旋转刀片的主轴单元,所述工作台保持机构用于保持承载工件的工作台,该工作台保持机构在用于进行相对于所述工件的切削进给方向的移动的X轴移动机构上,具备用于进行切入方向的移动的Z轴移动机构和用于进行以与所述Z轴方向平行的方向为θ旋转轴的旋转的θ旋转机构,所述切削进给方向为X轴方向,所述分度进给方向为Y轴方向,所述切入方向为Z轴方向,该θ旋转机构被包围在所述Z轴移动机构内,所述Z轴移动机构具备Z轴移动机构可动部底面板,在所述Z轴移动机构可动部底面板的底部安装有θ轴方向调整螺钉,通过该θ轴方向调整螺钉能够调整所述θ旋转机构相对于所述Z轴移动机构可动部底面板的上表面的姿态。
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