[发明专利]激光诱导低压射流复合刻蚀加工方法及装置无效
| 申请号： | 201210083223.X | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103317234A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 袁根福 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | B23K26/14 | 分类号： | B23K26/14;B23K26/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214122 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光诱导低压射流复合刻蚀加工方法及其装置，其方法是利用激光加工系统产生高能量激光束在工件上进行切割、打孔、开槽加工，同时，腐蚀介质射流装置产生的高速射流束及时对激光烧蚀的材料表面进行冲蚀，达到去除材料的目的；其装置包括激光器和电源，还包括射流产生装置和腐蚀液循环回流装置，射流装置包括腐蚀液箱、柱塞高压泵、压力表、蓄能器、单向控制阀、耐腐蚀喷嘴、射流装置固定夹具。本发明的方法以激光刻蚀为主，在激光刻蚀的基础上增加了高速腐蚀介质射流束的冷却、同步冲蚀以及二者之间的复合加工作用，从而实现对材料的激光诱导低压射流复合刻蚀加工；本发明提供了一个高效、清洁的复合刻蚀加工工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 诱导 低压 射流 复合 刻蚀 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种激光诱导低压射流复合刻蚀加工方法，利用激光加工系统产生高能量激光束在工件上进行切割、打孔、开槽加工，同时，腐蚀介质射流装置产生的高速射流束及时对激光烧蚀的材料表面进行冲蚀，达到去除材料的目的；加工过程中液体介质具有冷却作用，还可降低加工面的温度梯度。
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