[发明专利]一种调焦调平测量装置有效
| 申请号： | 201210083279.5 | 申请日： | 2012-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103365097A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 马晓晴;陈飞彪;鲁武旺;李志丹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种调焦调平测量装置，具有伸缩式镜筒。伸缩式镜筒分为两部分，第一部分镜筒位置固定，第二部分镜筒可伸缩，当调焦调平时，镜筒伸长，当放取硅片时，镜筒缩短。该装置适用性广，可适用于不同型号的基板，且当基板较厚时，不会额外增大光机系统的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种调焦调平测量装置，其特征在于，该装置具有伸缩式镜筒，所述伸缩式镜筒分为两部分，第一部分镜筒位置固定，第二部分镜筒可伸缩，当调焦调平时，镜筒伸长，当放取硅片时，镜筒缩短。
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