[发明专利]一种用于曝光装置的对准标记有效
| 申请号： | 201210083280.8 | 申请日： | 2012-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103365098A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 陈跃飞;徐兵;杜荣;贾翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于曝光装置的对准标记，该对准标记同时满足如下技术特征：a.对准标记整体相连，即对准标记中任一线条都有相交线；b.对准标记为中心对称图形；c.对准标记的外围轮廓（标记外围与背景交界处）连通（即：沿轮廓上任意为起点，沿着轮廓无论顺时针还是逆时针行走总会回到起点）；d.组成对准标记的最小线宽及空隙尺寸大于使用该对准标记的测量镜头的极限分辨率；e.组成对准标记的横向或纵向的线条每个方向不少于4根。本发明的对准标记具有明显的轮廓特征，是中心对称图形，因此提高了分辨率；同时对准标记的横向和纵向线条长短一致，提高了对准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 曝光 装置 对准 标记 | ||
【主权项】：
一种用于曝光装置的对准标记，其特征在于：对准标记同时满足如下技术特征：a.对准标记整体相连，即对准标记中任一线条都有相交线；b.对准标记为中心对称图形；c.对准标记的外围轮廓连通；d.组成对准标记的最小线宽及空隙尺寸大于使用该对准标记的测量镜头的极限分辨率；e. 组成对准标记的横向或纵向的线条每个方向不少于4根。
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