[发明专利]研磨装置和研磨方法有效
| 申请号： | 201210083648.0 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN102699794A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 关正也;户川哲二;中西正行;松田尚起;吉田笃史 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/06 | 分类号： | B24B21/06;B24B21/16;B24B21/18 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;秦玉公 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种研磨装置和研磨方法，研磨装置具有能够通过研磨衬底的周缘部而形成直角的截面形状的研磨单元。研磨单元包括：具有将研磨带相对于衬底(W)的周缘部从上方压靠的按压构件的研磨头；向研磨头供给研磨带，并从研磨头回收研磨带的带供给回收机构；使研磨头沿衬底(W)的半径方向移动的第1移动机构；以及使带供给回收机构沿衬底(W)的半径方向移动的第2移动机构。引导辊以研磨带与衬底(W)的切线方向平行地延伸且研磨带的研磨面与衬底(W)的表面平行的方式配置。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，该研磨装置包括：衬底保持部，保持衬底并使该衬底旋转；以及至少1个研磨单元，研磨所述衬底的周缘部，所述研磨单元包括：研磨头，具有将研磨带相对于所述衬底的周缘部从上方压靠的按压构件；带供给回收机构，向所述研磨头供给所述研磨带，并从所述研磨头回收所述研磨带；第1移动机构，使所述研磨头沿所述衬底的半径方向移动；以及第2移动机构，使所述带供给回收机构沿所述衬底的半径方向移动，所述带供给回收机构具有支承所述研磨带的多个引导辊，该多个引导辊以使所述研磨带与所述衬底的切线方向平行地延伸且使所述研磨带的研磨面与所述衬底的表面平行的方式配置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210083648.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：方向盘装置
- 下一篇：薄膜晶体管器件的制造方法、薄膜晶体管以及显示装置
