[发明专利]酸法后制绒无死层发射极的制备工艺

摘要

本发明属于晶硅太阳能电池的制作技术领域，具体涉及一种酸法后制绒无死层发射极的制备工艺。该发明先采用先扩散后制绒的方法，制备具有优良性能的无死层发射极，此工艺可以有效地去除电池片表面的死层发射极区，提高太阳能电池的短波响应，减小暗电流，有效提高电池片的开路电压，并且易于工业化生产。

主权项

一种酸法后制绒无死层发射极的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：（1）将硅片放入扩散炉，进行扩散制备低方阻为0—20ohm/sq的发射极；（2）表面酸制绒同时去除高掺杂死层发射极区：将硅片放入HNO3和HF溶液中，浸泡1—30min，完成表面制绒，同时得到方阻为50—150ohm/sq的无死层发射极;（3）清洗：将硅片放入浓度为1—5%KOH溶液中，清洗0.5—5分钟，然后再放入浓度为5—15%的HCl和浓度为2%—10%的HF酸混合溶液中清洗0.5—5分钟。