[发明专利]薄膜太阳能电池的吸收层制作装置及其制作方法

摘要

本发明涉及太阳能技术，公开了一种薄膜太阳能电池的吸收层制作装置及其制作方法。本发明中，在真空工艺腔体中，铜镓和铟的溅射与硒的蒸发沉积同时进行，导致在基片上形成的薄膜层中，除铜铟镓外，还存在着一定量的硒元素。由于在制作工艺中，利用硒蒸气喷嘴将硒蒸气喷射到基片上，无需使用剧毒气体硒化氢(H2Se)，因此避免了对生产人员的生命安全造成危险，同时大大地减少了生产成本。而且，由于薄膜层中的铜镓和铟元素是通过铟金属靶材和铜镓合金靶材溅射到基片上，因此可以保证膜层的均匀性和生产效率。

主权项

一种薄膜太阳能电池的吸收层制作装置，包含至少一个工艺制作腔，其特征在于，每个所述工艺制作腔包含：真空工艺腔体、至少一个铜镓合金靶材、至少一个铟金属靶材、至少一个硒蒸气喷嘴组；其中，所述铜镓合金靶、铟金属靶材和硒蒸气喷嘴均位于所述真空工艺腔体内，所述铜镓合金靶材和所述铟金属靶材根据工艺需求依次排列，所述硒蒸气喷嘴组位于所述铜镓合金靶材和/或所述铟金属靶材的一侧，或者，所述硒蒸气喷嘴组位于所述铜镓合金靶材和/或所述铟金属靶材的两侧。