[发明专利]光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置

摘要

光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，涉及标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，解决现有采用接触式测量光栅尺标尺光栅的铣磨面直线度时，由于存在测量误差，导致检测数据不准确的问题，LED光源发出的光经过聚光镜聚光后，被分光棱镜向下反射，透过物镜后形成圆形光斑，光斑的一半照在标尺光栅上，另一半照在底座上。标尺光栅处于景深位置，照在其上的光线经反射后，通过物镜、分光棱镜，在CCD上成一清晰明亮的像；底座处于景深之外，照在其上的光线经底座反射后，通过物镜、分光棱镜，在CCD上成一模糊昏暗的像。两个像之间明暗分界对比明显，成像情况可以很清楚的反映出标尺光栅的铣磨面处的加工情况。

主权项

光栅尺标尺光栅铣磨面直线度误差的非接触自动检测装置，该装置包括底座(1)、底板玻璃(2)、定位柱(3)、三维位移台(10)和光学检测系统，所述光学检测系统包括物镜(5)、分光棱镜(6)、CCD摄像头(7)、聚光镜(8)和LED光源(9)，其特征是，所述LED光源(9)发出的光束经聚光镜(8)聚光后被分光棱镜(6)反射，所述被分光棱镜(6)反射后的光束透过物镜(5)形成圆形光斑，其中一部分圆形光斑照在待测标尺光栅(4)上，另一部分圆形光斑照在底座(1)上，照在待测标尺光栅(4)上的圆形光斑经待测标尺光栅(4)反射后依次经过物镜(5)、分光棱镜(6)在CCD摄像头(7)上成清晰的像，照在底座(1)上的圆形光斑经底座(1)反射后依次经过物镜(5)、分光棱镜(6)在CCD摄像头(7)上成模糊的像；所述底板玻璃(2)的两端通过两个定位柱(3)固定在底座(1)上，待测标尺光栅(4)置于底板玻璃(2)上待测标尺光栅(4)铣磨面相对面两端与两个定位柱(3)接触，实现待测标尺光栅(4)的定位。