[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法。在电感耦合型等离子体处理中有效且任意地控制在腔室内形成的环状等离子体内的等离子体密度分布。在该电感耦合型等离子体处理装置中，为了生成电感耦合等离子体而设置在介电窗(52)上的RF天线(54)在径向上被分割为内侧线圈(58)、中间线圈(60)和外侧线圈(62)。在设置在高频供电部(66)的高频传输路径上的第一节点NA与第二节点NB之间，对中间线圈(60)和外侧线圈(62)分别串联电连接可变的中间电容器(86)和外侧电容器(88)，对内侧线圈(58)不连接任何电抗元件。

主权项

一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：具有介电窗的处理容器；在所述处理容器内保持被处理基板的基板保持部；为了对所述基板实施所需的等离子体处理，对所述处理容器内供给所需的处理气体的处理气体供给部；为了在所述处理容器内通过电感耦合生成处理气体的等离子体，设置在所述介电窗外部的RF天线；和对所述RF天线供给高频电力的高频供电部，所述高频电力的频率适合所述处理气体的高频放电，所述RF天线具有内侧线圈、中间线圈和外侧线圈，所述内侧线圈、中间线圈和外侧线圈在径向上隔开间隔分别配置在相对内侧、中间和外侧，并且在设置于所述高频供电部的高频传输路径中的第一和第二节点之间并联电连接，在所述第一节点和所述第二节点之间，设置与所述中间线圈串联电连接的可变的中间电容器、和与所述外侧线圈串联电连接的可变的外侧电容器，所述内侧线圈不通过电抗元件地连接在所述第一节点和所述第二节点之间。