[发明专利]全光场偏振像差检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201210091180.X | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102607819A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 曹绍谦;步扬;步鹏;王向朝;张敏;汤飞龙;李中梁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种全光场偏振像差检测装置及检测方法。该装置包括：全偏振态发生器PSG、全偏振态分析器PSA及信号处理和控制系统。该检测方法包括：改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小，进行第一次测量；改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小，进行第二、三、四次测量；根据算法对四次测量结果进行处理。本发明具有装置结构简单、共光轴且稳定、测量无需机械转动、算法简单、高空间分辨率且测量速度较快的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 全光场 偏振 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种全光场偏振像差检测装置，该装置包括全偏振态发生器、全偏振态分析器及信号处理和控制系统，其特征在于；所述全偏振态发生器包括激光器(1)、激光扩束器(2)、起偏器(3)、第一法拉第旋转器(4)、1/4波片(5)和第二法拉第旋转器(6)，所述全偏振态分析器包括补偿器(8)、微偏振检偏器阵列(9)及CCD探测器阵列(10)，其位置关系是：沿该激光器(1)的激光输出方向，依次是所述的激光扩束器(2)、起偏器(3)、第一法拉第旋转器(4)、1/4波片(5)、第二法拉第旋转器(6)所述的补偿器(8)、微偏振检偏器阵列(9)和CCD探测器阵列(10)；所述微偏振检偏器阵列(9)是由微偏振检偏器超像素(901)的阵列组成，所述的微偏振检偏器超像素(901)由0度线偏振微检偏器(902)、45度线偏振微检偏器(903)、90度线偏振微检偏器(904)和135度线偏振微检偏器(905)组成，所述的CCD探测器阵列(10)是由CCD探测器超像素(1001)的阵列组成的，所述CCD探测器阵列超像素(1001)是由四个相同的CCD探测器子像素组成；所述的微偏振检偏器阵列(9)和所述的CCD探测器阵列(10)集成在一起，使所述的微偏振检偏器超像素(901)阵列和CCD探测器超像素(1001)阵列一一对准，形成对准超像素阵列(901‑1001)；所述信号处理和控制系统包括放大器(11)、同步数据采集卡(12)、计算机(13)、第一偏压控制器(14)和第二偏压控制器(15)；所述的CCD探测器阵列(10)经所述的放大器(11)、同步数据采集卡(12)与所述的计算机(13)的输入端相连，所述计算机(13)的输出端接所述的第一偏压控制器(14)和第二偏压控制器(15)的输入端，所述的第一偏压控制器(14)的输出端接所述的补偿器(8)的控制端，所述的第二偏压控制器(15)的输出端接所述的第一法拉第旋转器(4)和第二法拉第旋转器(6)的控制端。
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