[发明专利]一种实验用校测装置

摘要

本发明公开了一种实验用校测装置，包括高真空室、低真空室、分子泵、储气罐和机械泵，所述高真空室与低真空室通过三通球形膨胀阀和小体积微调放气阀相连接，所述机械泵前端设有一个挡油阱。储气罐通过电磁阀与挡油阱相连接，所述机械泵前端设有一个电磁放气阀。高真空室和低真空室用不锈钢制造，球体状，球体内径为350mm，壁厚为3mm，内外表面作电解抛光处理。本装置由高真空室和低真空室两个不锈钢球形机构组成，与单球结构相比，其优点是既可单独进行高真空计或低真空计的校准，又可同时进行高低真空计的校准，提高了工作效率，并且减少因低真空校准对以后进行高真空校准的影响；利用双球结构，增加了膨胀法的校准。

主权项

一种实验用校测装置，包括高真空室(1)、低真空室(2)、分子泵(10)、储气罐(9)和机械泵(7)，其主要特征在于：所述高真空室(1)与低真空室(2)通过三通球形膨胀阀(17)和小体积微调放气阀(16)相连接，所述机械泵(7)前端设有一个挡油阱(8)。