[发明专利]一种用于LED用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液无效
| 申请号： | 201210096685.5 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN103184010A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 张学炎 | 申请（专利权）人： | 铜陵市琨鹏光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人： | 董泽友 |
| 地址： | 244000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于LED用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液制备配方。其成分和重量比组成如下：有机碱二乙醇胺0.7～1.0wt%，粒径为50～70nm含量25～35wt%的硅溶胶，分散剂乙二胺0.4～0.7wt%，活性剂壬基酚聚氧乙烯醚0.1～0.3wt%。抛光液去除率可以达到28nm/min左右，表面粗糙度Ra小于0.5nm，能满足蓝宝石衬底片CMP加工主要性能指标要求。本发明具有高去除速率、低表面粗糙度度和成本低、不污染环境、不腐蚀设备的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 led 蓝宝石 衬底 精密 抛光 | ||
【主权项】：
一种用于LED用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液，其特征是它包括由粒径为50～70nm含量25～35wt%的纳米磨料、0.7～1.0 wt%的PH值调节剂、添加0.4～0.7 wt%分散剂及0.1%～0.3%表面活性剂混合而成， PH值要求调节在9～13范围内，常温下黏度为0.80～1.1mm²/ s 。
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