[发明专利]一种新型常压双射频电极的等离子体自由基清洗喷枪无效
| 申请号： | 201210097139.3 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN103357618A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 贾少霞;王守国;杨景华;赵玲利 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种新型常压双射频电极的等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、介质阻挡层、两个接地电极和一个射频电源，该喷枪呈长方体，其中一面接进气口，相对的面为喷口，除喷口面外，喷枪其余各面均为金属板，两个接地电极被介质阻挡层包覆，两个接地电极之间为两个射频电极，形成三个喷口，两个射频电极也被介质阻挡层包覆，工作气体从喷枪喷口喷出，在常压下，电源接通后，在三个喷口均产生辉光等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下向外喷出，该喷枪用于对硅片、玻璃等衬底表面的有机物进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 常压 射频 电极 等离子体 自由基 清洗 喷枪 | ||
【主权项】：
一种新型常压双射频电极的等离子体自由基清洗喷枪，包括两个射频电极、介质阻挡层、两个接地电极和一个射频电源，其特征在于：该喷枪呈长方体，其中一面接进气口，相对的面为喷口，除喷口面外，喷枪其余各面均为金属板，两个接地电极被介质阻挡层包覆，两个接地电极之间为两个射频电极，形成三个喷口，两个射频电极被介质阻挡层包覆，工作气体从喷枪喷口喷出，在常压下，电源接通后，在三个喷口中均产生辉光等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下向外喷出。
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